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招标文件第8章4/13页“(6)为磁浮式无摩擦进样杆进样方式,而非全自动进样方式,进样室包括多个标准法兰口,以保证进样室可从进样口其他方向互联手套箱或其他设备
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2024年03月04日一、评标情况标段(包)分子束外延MBE系统:快速进样室,1套;分子束外延生长腔体,2套;系统支架、烘烤设备及其他配件,1套:1
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系统采购项目3.招标内容及需求序号招标内容数量招标预算1分子束外延MBE系统快速进样室1套人民币395万元2分子束外延生长腔体2套3系统支架
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含5个手阀:1.6源瓶加热器配备3个180℃单管加热器1.7进样室采用抽屉式样品装载样品,可装载6寸晶圆片。1.8腔体需为高温真空腔体
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工作频率3.56MHz,输出阻抗50±5Ohms。7.样品预处理室:需配有进样室,能够在真空条件下对样品在进样室和主舱之间传送。预处理室需配有机械泵
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含5个手阀:1.6源瓶加热器配备≥3个180℃单管加热器1.7进样室采用抽屉式样品装载样品,可装载6寸晶圆片。1.8腔体需为高温真空腔体
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含5个手阀:1.6源瓶加热器配备≥4个180℃单管加热器1.7进样室采用抽屉式样品装载样品,可装载6寸晶圆片。1.8腔体需为高温真空腔体
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含5个手阀:1.6源瓶加热器配备≥4个180℃单管加热器1.7进样室采用抽屉式样品装载样品,可装载6寸晶圆片。1.8腔体需为高温真空腔体
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含5个手阀:1.6源瓶加热器配备≥4个180℃单管加热器1.7进样室采用抽屉式样品装载样品,可装载6寸晶圆片。1.8腔体需为高温真空腔体
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含5个手阀;1.6源瓶加热器配备2个180℃单管加热器,精度:180±1ºC;1.7进样室采用抽屉式样品装载样品,可装载6寸晶圆片;1.8腔体需为高温真空腔体腔
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含5个手阀;1.6源瓶加热器配备2个180℃单管加热器,精度:180±1ºC;1.7进样室采用抽屉式样品装载样品,可装载6寸晶圆片;1.8腔体需为高温真空腔体腔
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4530000HT202319490二、合同名称:云南大学材料与能源学院电子束蒸发系统快速进样室项目采购合同三、项目编号:4530000JH202322813四
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人民币352.8万元1套1、配备不少于4支溅射靶枪,可兼容靶材尺寸不小于3英寸。2、进样室可以安装一个不小于6英寸的基片,并提供至少一个可耐受不低于800摄氏度的托盘
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序号货物名称是否接受进口产品单位数量是否为核心产品简要技术规格要求1等离子体刻蚀机是台1是双腔体真空结构(刻蚀腔体+进样室)。用于8英寸及以下尺寸的硅及氧化物刻蚀螺管式的ICP源设计;能够有效保证刻蚀的速率及均匀性
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人民币352.8万元1套1、配备不少于4支溅射靶枪,可兼容靶材尺寸不小于3英寸。2、进样室可以安装一个不小于6英寸的基片,并提供至少一个可耐受不低于800摄氏度的托盘
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云南大学材料与能源学院电子束蒸发系统快速进样室项目采购成交公告2023-11-07来源:云南省政府采购网【显示公告正文】【显示公告概要】公告概要公告信息
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得到指定元素可能存在的的价态或化合物信息;功能要求:支持按照顺序对样品和样品台进行预处理;支持对进样室、分析室气压进行控制;支持样品的安装以及取出;支持样品上设置不同分析点
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0%@2英寸基片;腔室极限真空度≤9x10-9Torr;独立的预真空进样室配备涡轮分子泵组,极限真空度≤2x10-6Torr;腔室配置至少3个3英寸靶枪
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11自动化生长系统:全生长过程程序控制3.2主要配置及附属设备3.2.1主要配置腔体、进样室、磁力杆、真空计、机械泵、分子泵、阀门、快开门各一套,加热器两个,流量计3个
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北京量子信息科学研究院计划采购1套双角度蒸发系统支持研发量子计算芯片。具体需求:样品尺寸不小于4英寸,进样室极限真空优于5x10-7Torr,中转腔极限真空优于5x10-9Torr
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0%@2英寸基片;腔室极限真空度≤9x10-9Torr;独立的预真空进样室配备涡轮分子泵组,极限真空度≤2x10-6Torr;腔室配置至少3个3英寸靶枪
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云南大学材料与能源学院拟申请单一来源采购电子束蒸发系统快速进样室项目的公示发布日期:2023-09-26行政区划:省级预算单位
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其他仪器仪表全自动X射线光电子能谱仪1(套)是2.1真空系统2.1.1含分析室和进样室2.1.2分析室真空泵:独立的(非与进样室共用)前级机械泵、涡轮分子泵和钛升华泵;2
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1)满足空载最低温度达到10mK、制冷功率大于400uW@100mK;2)与超高真空的进样室、中转室、制备室兼容;3)配备低震动的半干式液氦自循环系统。综上所述
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包含STM及QplusAFM两种功能模式,同时包含超高真空分子束外延薄膜生长和样品处理腔,快速进样室等14400000.00五、评审专家(单一来源采购人员)名单:袁兰
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金属氧化物薄膜、金属氮化物薄膜等)制备及表面掺杂改性,该系统由超高真空镀膜室和快速进样室两个腔室组成,将样品置于快速进样室通过传样传至镀膜腔室,其中超高真空镀膜腔室极限真空度优于6
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质保及售后服务附件1高真空磁控溅射薄膜沉积系统1沈阳科仪TRP450(1)设备由进样室、溅射真空室、磁控溅射靶、旋转加热基片台、退火炉、反溅靶、磁力送样机构
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2数量及简要技术参数:数量一台(套)2.3简要技术参数:配有前开门的全自动进样室,进样室门上和腔室侧面、顶部各配有一个直径≥100毫米观察窗以无障碍观察机械臂运动
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真空系统性能指标:(1)分析室:μ金属制造,烘烤后真空度优于7×10-8Pa。(2)进样室:不锈钢制造,烘烤后真空度优于7×10-7Pa。(3)烘烤系统
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10torr;2.分析室真空泵:独立的高抽速机械泵,分子涡轮泵及钛升华泵组合;3.进样室:最佳真空度优于6.0×10-9torr,配备独立的涡轮分子泵和机械泵;(详见采购需求)3
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可实现无人值守式的大批量样品测试,仪器自动化程度越高越好2.4真空系统2.4.1构成:分析室和进样室,进样室连接在分析室上,用于常规样品进样分析2.4.2真空泵组:分析室配置机械泵
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易于观察、便于维护;2)样品台:尺寸大于等于200mm直径、稳定、高效;3)传送装置;带进样室的分级真空系统;4)离子源:双离子源、低能量、结构简单易维护;5)软件系统:监控
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催化剂研究和失效分析、以及化学、生物、医学环境等领域。该设备主要由真空系统(分析室和进样室)、电子光学系统(电子枪、电磁透镜、光阑和电子信号检测器)、光学观察系统
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工艺主腔体;样品台;靶枪系统;靶枪系统;靶枪系统;真空系统;气路系统;手套箱基片进样室;控制系统;备品备件;专用工具AJA;AJA;AJA;AJA;AJA;Pf
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士万通883型离子色谱蠕动泵管夹图号62755000个3200000184964进样室密封圈&图号532253051298&荷兰帕纳科PW440
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原招标文件第17页增加星号项:★1.6.3带有电机控制齿轮齿条样品传递臂,用于将样品在进样室和主腔室之间传递,传递过程可以程序自动控制。9.原招标文件第18页增加
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序号名称数量用途和主要规格参数采购预算(人民币)最高限价(人民币)1金属PVD设备采购1项★配有前开门的全自动进样室,跟中央传输腔需要为整体设计,每次可放置不少于25片8英寸样品1100万元1100万元合同履行期限
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样品准备/薄膜制备腔、ARPES/XPS腔、快速进样室,各腔体之间使用闸板阀隔离,配备磁力传样杆用于样品/针尖传递。预算金额
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2主分析室烘烤后系统极限真空5.0×10-10Torr3.7.3具有主分析室和快速进样室内烘烤系统3.8样品台要求:3.8.1自动五轴超高真空样品台3.8
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样品准备/薄膜制备腔、ARPES/XPS腔、快速进样室,各腔体之间使用闸板阀隔离,配备磁力传样杆用于样品/针尖传递。预算金额
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涡轮分子泵和钛升华泵,要求分析室极限真空度应≤5×10-9mbar;2)快速进样室:具有涡轮分子泵和前级机械泵;3)真空测量系统:具有皮拉尼计和离子规;4)要求具备自动烘烤系统
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主机参数:溅射室极限真空度:≤6.67X10^-6Pa(经烘烤除气后);进样室极限真空度:≤1X10^-4Pa(经烘烤除气后);系统短时间暴露大气并充干燥氮气开始抽气
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00元合同签订后12个月内四川省绵阳市采购人所区指定地点(绵阳附近100公里)该设备包括进样室、预处理室和生长室三个腔体,预处理室可对衬底进行溅射退火处理;生长室配备多个束源以及接口
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序号货物/服务名称详细参数要求1磁控溅射系统1.1设备配置设备配置清单:1.工艺真空室;2.全自动进样室;3.真空系统:分子泵+干式机械泵;4.磁控溅射靶枪×4;5.直流&