更换电子束曝光机的场发射灯丝(清采比选20240184号)采购公告
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项目名称 | 省份 | ||
业主单位 |
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业主类型 | |
总投资 | 建设年限 | ||
建设地点 | |||
审批机关 | 审批事项 | ||
审批代码 | 批准文号 | ||
审批时间 | 审批结果 | ||
建设内容 |
采购项目名称:更换电子束曝光机的场发射灯丝
采购项目编号:清采比选20240184号
对外联系人:本项目不接受咨询
联系电话:本项目不接受咨询
采购单位:清华大学
物资名称:更换电子束曝光机的场发射灯丝
采购数量:1
计量单位:台
品牌:Raith
型号:174C
技术参数及配置要求:20kV加速电压时,束斑尺寸可达到1.6nm;10kV加速电压,30μm光阑时,束流不小于220pA,并且室温波动不大于2℃条件下,8小时内束流波动不大于0.5%。为达到上述技术指标,供货商可视情况更换光阑等配件,同时需要保证所有配件能够与Raith 150-TWO的其他部件协调工作。总费用包含配件和一直到灯丝更换完成为止的人工费。
单价:¥177000
详情请访问原网页!
采购项目编号:清采比选20240184号
对外联系人:本项目不接受咨询
联系电话:本项目不接受咨询
采购单位:清华大学
物资名称:更换电子束曝光机的场发射灯丝
采购数量:1
计量单位:台
品牌:Raith
型号:174C
技术参数及配置要求:20kV加速电压时,束斑尺寸可达到1.6nm;10kV加速电压,30μm光阑时,束流不小于220pA,并且室温波动不大于2℃条件下,8小时内束流波动不大于0.5%。为达到上述技术指标,供货商可视情况更换光阑等配件,同时需要保证所有配件能够与Raith 150-TWO的其他部件协调工作。总费用包含配件和一直到灯丝更换完成为止的人工费。
单价:¥177000
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