无掩膜紫外光刻机(A-WZBX0949)采购公告
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项目名称 | 省份 | ||
业主单位 |
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业主类型 | |
总投资 | 建设年限 | ||
建设地点 | |||
审批机关 | 审批事项 | ||
审批代码 | 批准文号 | ||
审批时间 | 审批结果 | ||
建设内容 |
项目名称 | 无掩膜紫外光刻机 | 项目编号 | A-WZBX0949 |
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公告开始日期 | 2024-04-22 00:39:01 | 公告截止日期 | 2024-04-25 02:00:00 |
采购单位 | 物理科学与技术学院 | 付款方式 | |
联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 到货时间要求 | 签约后30个工作日内 | |
预算总价 | ¥ 登录即可免费查看.00 + NaN + NaN | ||
发票要求 | 增值税普通发票 增值税专用发票 | ||
含税要求 | |||
送货要求 | |||
安装要求 | |||
收货地址 | 物理楼114室 | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
公告说明 |
采购清单1
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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无掩膜紫外光刻机 | 1 | 台 | 无 无 |
品牌 品牌1 | |
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品牌2 | |
型号 | |
品牌3 | |
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品牌4 | |
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品牌5 | |
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品牌6 | |
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预算单价 | ¥ 登录即可免费查看.00 |
技术参数及配置要求 | 1. ★光刻精度: 至少支持两个光刻镜头: 光刻镜头1:最小线宽≤1.2 μm,工作距离≥19 mm; 光刻镜头2:最小线宽≤0.8 μm,工作距离≥12 mm 2. ★具备交互式套刻指引功能 3. ▲具备图像识别对焦功能 4. ★支持光刻镜头电动切换 5. 曝光波长:405 nm 6. ★数字掩模板分辨率:≥1920 * 1080,微镜尺寸≤7.6 um 7. 显微观测:支持显微观测且不会引起光刻胶变性 8. ▲样品厚度:≥8 mm 9. ▲样品尺寸:≥80 mm *80 mm 10. ★支持样品电动旋转 11. 样品吸附:支持样品吸附 12. ★设备软件: 原位光绘功能 物像绑定功能 成像拼接功能 畸变矫正功能 13. 画图软件:支持阵列画图、套刻画图 |
参考链接 | |
售后服务 | 商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;1年免费质保期; |
2024-04-22 00:39:01