离子束刻蚀系统（A-WZBX0923）采购公告
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| 项目名称 | 省份 | ||
| 业主单位 |
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业主类型 | |
| 总投资 | 建设年限 | ||
| 建设地点 | |||
| 审批机关 | 审批事项 | ||
| 审批代码 | 批准文号 | ||
| 审批时间 | 审批结果 | ||
| 建设内容 | |||
| 项目名称 | 离子束刻蚀系统 | 项目编号 | A-WZBX0923 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2024-01-12 02:11:22 | 公告截止日期 | 2024-01-15 04:00:00 |
| 采购单位 | 物理科学与技术学院 | 付款方式 | |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | 签约后60个工作日内 | |
| 预算总价 | ￥ 登录即可免费查看.00 + NaN + NaN | ||
| 发票要求 | 增值税普通发票 增值税专用发票 | ||
| 含税要求 | |||
| 送货要求 | |||
| 安装要求 | |||
| 收货地址 | 物理楼114室 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 公告说明 | |||
采购清单1
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 离子束刻蚀系统 | 1 | 台 | 无 无 |
| 品牌 品牌1 | |
|---|---|
| 型号 | |
| 品牌2 | |
| 型号 | |
| 品牌3 | |
| 型号 | |
| 品牌4 | |
| 型号 | |
| 品牌5 | |
| 型号 | |
| 品牌6 | |
| 型号 | |
| 预算单价 | ￥ 登录即可免费查看.00 |
| 技术参数及配置要求 | 1. 适用于最大Φ100mm（4英寸）样品刻蚀，尺寸向下兼容； 2. Φ100mm（4英寸）范围内刻蚀不均匀性误差≤±3%； 3. 离子能量：100～1000 eV； 4. 离子束流：可调范围10～150 mA； 5. 离子源连续工作100小时以上，离子束输出性能无明显衰减； 6. 极限真空度：≤6.67×10-5 Pa； 7. 系统从大气（暴露大气时充干燥氮气）开始抽气，30分钟内可达到真空度5×10-4 Pa； 8. 批次内离子束流和离子能量稳定度RMS测试值不超过±2%/h，不同批次间工艺重复性95%以上。 9. 前级真空泵采用一台双级直连旋片式真空泵，抽速≥11L/s； 10. 主真空泵采用一台复合分子泵，抽速≥1200L/s； 11. Φ200mm口径超高真空气动插板阀一台，漏率低于5×10-8Pa·L/s； 12. 进口全量程真空计一套，量程从大气压最低至优于10-6Pa； 13. 口径Φ150mm的考夫曼离子源一套，有效束径不小于Φ100mm； 14. 热丝中和，单灯丝连续使用寿命不低于100小时； 15. 带有自动匹配功能的全自动离子源控制电源一套，批次内离子束流和离子能量稳定度RMS测试值不超过±1%/h，不同批次间工艺重复性95%以上； 16. 样品台可自转，自转速率0～30RPM在线自动可调； 17. 样品台可冷却，台面冷却温度5～25℃可调； 18. 刻蚀角度在 ±90°范围内在线自动可调，调节精度1°； 19. 两台冷却水循环机，一台用离子源冷却，另一套用于分子泵和刻蚀工作台冷却，5～25℃范围内按需调节控制水温； 20. 1路工作气体，1路通至离子源放电室，采用进口质量流量控制器（MFC）控制； 21. 系统采用计算机+PLC控制，触摸显示屏操作，Windows会话界面，可实现真空系统及工艺过程全自动化操作，控制系统可选择全自动及非全自动模式； 22. 提供全面的系统自动保护功能，对各重要部分、关键操作实现互锁保护，包括真空系统、离子源系统、充气系统、冷却系统、工件旋转、刻蚀角度控制等； 23. 设有互锁、异常断电自动记忆、自动工艺编程校验等安全保护措施，使非恶意的人为操作失误不会导致系统硬、软件的损坏。支持诸如缺水故障、分子泵故障等故障情况下的自动报警；安装机台架组件； 24. 系统为一体式机台设计，占地面积小，方便操作，整体设计满足超净间安装要求。 |
| 参考链接 | |
| 售后服务 | 商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;免费保修3年; |
2024-01-12 02:11:22
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