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【结果公示】大连理工大学微电子科研仪器设备拆装及恢复采购结果公示(项目编号:DUTCHT-2201417)

基本信息
项目名称 省份
业主单位 业主类型
总投资 建设年限
建设地点
审批机关 审批事项
审批代码 批准文号
审批时间 审批结果
建设内容
1.项目名称:微电子科研仪器设备拆装及恢复
2.项目编号:DUTCHT-2201417
3.成交单位:上海晟羽新材料科技有限公司
4.成交金额:登录即可免费查看.0CNY
5.公 示 期: 2022年10月27日至2022年10月31日
6.联系方式:      
采购与招标管理办公室        邮箱:cgzbdlut@dlut.edu.cn
7.采购清单: 
序号
产品名称
服务内容
数 量
单价(元)
金额(元)
1
 
冷水机(TF-LS-2KW)设备恢复
全面除锈,保养水泵,恢复设备功能。
1.0
1000.0
1000.0
2
 
紫外可见近红外分光光度计设备恢复
紫外可见近红外分光光度计设备恢复
1.0
15000.0
15000.0
3
 
KrF准分子激光器恢复
KrF准分子激光器恢复
1.0
10000.0
10000.0
4
 
248纳米KrF脉冲准分子激光器恢复
恢复248纳米KrF脉冲准分子激光器
1.0
2000.0
2000.0
5
 
恢复电子束蒸发设备
搭建超高真空系统,恢复电子束蒸发设备
1.0
27000.0
27000.0
6
 
高温管式炉恢复
更换温控系统,订制石英管,恢复设备功能。
1.0
5100.0
5100.0
7
 
感应耦合等离子体刻蚀机恢复
搭建等离子体系统,恢复感应耦合等离子体刻蚀机,可完成对2英寸薄膜的刻蚀工艺。
1.0
54000.0
54000.0
8
 
低温闭循环制冷系统
修复冷却系统,补充液氦,恢复低温闭循环制冷系统。
1.0
25000.0
25000.0
9
 
高真空多功能磁控溅射镀膜设备恢复
修复水冷系统,恢复高真空多功能磁控溅射镀膜设备
1.0
11000.0
11000.0
10
 
精密研磨抛光机恢复
更换研磨盘装配固定架,恢复设备功能。
1.0
500.0
500.0
11
 
等离子体MOCVD-II装置——设备恢复
恢复等离子体MOCVD-II装置
1.0
12000.0
12000.0
12
 
氦质谱检漏仪
恢复氦质谱检漏仪设备
1.0
3000.0
3000.0
13
 
脉冲激光分子束外延设备修复
维修并恢复脉冲激光分子束外延设备
1.0
26000.0
26000.0
14
 
真空镀膜机(DM300B)
搭建系统,二次装机恢复真空镀膜机。
1.0
17000.0
17000.0
15
 
光学多道检测系统恢复
光学多道检测系统恢复
1.0
19100.0
19100.0
16
 
晶圆键合机设备恢复
修复冷却系统,恢复晶圆键合机设备。
1.0
45000.0
45000.0
17
 
精密划片机恢复
修复精密划片机编程系统、冷却系统,恢复精密划片机设备。
1.0
30000.0
30000.0
18
 
光刻机设备恢复
订制掩膜版,装配新光源,恢复设备。
1.0
3000.0
3000.0
19
 
低速外圆切割机
更换刀头,装配电控系统恢复设备功能。
1.0
500.0
500.0
20
 
MOCVD特气输运系统恢复
MOCVD特气输运系统恢复与搭建,可为氧化物MOCVD设备提供氧气与氮气气氛,安装尾气处理系统可处理MOCVD生长过程中的废气。
1.0
140900.0
140900.0
21
 
精密温控多段高温炉系统
恢复精密温控多段高温炉系统
1.0
1000.0
1000.0
22
 
霍尔测试仪设备恢复
修复受损磁体,恢复霍尔测试仪设备。
1.0
110000.0
110000.0
23
 
X射线衍射仪设备恢复
恢复X射线衍射仪设备
1.0
19000.0
19000.0
24
 
He-Cd 激光器
清理谐振腔修复电源,恢复He-Cd 激光器。
1.0
1000.0
1000.0

 
 
                                                        大连理工大学
            2022年10月26日
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