电子光学系统主机采购项目招标公告
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| 项目名称 | 省份 | ||
| 业主单位 |
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业主类型 | |
| 总投资 | 建设年限 | ||
| 建设地点 | |||
| 审批机关 | 审批事项 | ||
| 审批代码 | 批准文号 | ||
| 审批时间 | 审批结果 | ||
| 建设内容 | |||
| 采购单位: | 深圳国际量子研究院 |
| 项目名称: | 电子光学系统主机采购项目 |
| 预算金额（元）: | 1,500,000.000 |
| 采购品目: | 其他机械设备 |
| 采购需求概况: | 拟采购的电子光学系统主机是一种控制电子束进行扫描偏转的装置，其利用多级电磁透镜系统，控制高电压电子枪发射出的电子束流进行偏转，将加速的电子束按照设计的版图进行控制，在抗蚀剂上高速扫描绘制结构。电子光学系统主机的主要参数：最大加速电压100kV，配有ZrO/W肖特基场发射电子源，XY运动平台支持6英寸样品。设备主要由电子枪、镜筒、真空腔体、基座等部分构成。 |
| 预计采购时间: | 2024-1 |
| 联系人: | 刘老师 |
| 联系电话: | 0755-88397970 |
| 备注: | 无 |
附件下载地址：http://zfcg.szggzy.com:8081/gsgg/002001/002001001/002001001002/purchase_intention.html
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