【分散采购备案单】实验型狭缝涂布机
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| 项目名称 | 省份 | ||
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业主类型 | |
| 总投资 | 建设年限 | ||
| 建设地点 | |||
| 审批机关 | 审批事项 | ||
| 审批代码 | 批准文号 | ||
| 审批时间 | 审批结果 | ||
| 建设内容 | |||
项目概况
采购货物信息列表
| 项目名称 | 实验型狭缝涂布机 | 项目编号 | BH202405130220 |
| 开始时间 | 2024-05-13 14:47 | 结束时间 | 2024-05-18 14:47 |
| 供应商资格要求 | 参照《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的资格条件。 | 预算金额（元） | 登录即可免费查看.00 |
| 采购方式 | 竞价 | ||
采购货物信息列表
| 序号 | 货物（服务）名称 | 数量 | 计量单位 | 预算单价 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 实验型狭缝涂布机 | 1 | 台 | 登录即可免费查看00 | ||
| 技术参数 | 1. 适用基板 a. 基板尺寸：200mm*200mm*t0.4~t4mm b. 基板平整度：<10 um c. 基板浸润性：<="15" ° d. 基板温度：23+-2℃ 2. 适用药液 a. 类型：有机溶剂或者其混合溶剂制成的低粘度药液 b. 粘度：1-70cp c. 固含量：7%-50% 3. 设备工艺性能 a. 成膜方式：狭缝涂布 b. 可成膜厚度：0.5-10um c. 成膜均一性：片内<="7%，片间<=7%（除边10mm，500nm干膜典型" 值，计算方式：[(max-min)/(max+min)）]*100% unit规格： 涂布模头： 材质sus630，涂布宽度200mm，平面直线度<="3um，内腔粗糙度" ra<="0.025，狭缝间隙垫片平面精度<=1um/m，间隙调节范围<1=0um，" 除边范围<="10mm，涂布头防撞组件：低于唇口20um有效防止唇口发生" 碰撞，涂布头校正：用两个千分表进行水平调节，排泡设计：模头腔 室高位排泡孔； 涂布泵： 泵体材质pfa，密封圈材质pfa，泵容积5ml，驱动控制：伺服电机、 滚动丝杆，吐液分布控制分辨率1.04ul/s，响应时间0.1s； 运动组件： z轴数量2个，z轴分辨率0.1um，z轴驱动控制：千分尺调节，z轴升降 高度0-20mm，y轴驱动形式龙门移动，平台固定，y轴数量1个，y轴驱 动控制导轨式：伺服电机、同步带、导轨，y轴速度区间0-200mm/s， y轴运动面精度优于+-10um，y轴重复精度<="20um;" 涂布平台： 材质大理石，适配基板尺寸200*200mm，表面平整度<="+-5um，基板真" 空吸附定位，平台整板真空孔吸附，基板对位方式手动，取片方式手 动； 供液系统： 管路材质pfa，供液罐玻璃，供液方式：罐体加压（氮气或者cda）， 供液中转：供液罐直通供液泵，废液罐：手动排废； 人机交互界面： 触摸屏或者电脑：所有涂布参数可以再该平台设置，或者有专门的数 据编辑电脑，log纪录功能：每片基板的涂布过程可查看，包含涂布 机各轴在涂布过程中时间点速度位置等参数，操作权限：三种操作权 限登录，设备手动、半自动、自动动作可全部在界面进行操作。 | |||||
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