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中山大学集成电路学院真空系统采购项目采购需求公告

基本信息
项目名称 省份
业主单位 业主类型
总投资 建设年限
建设地点
审批机关 审批事项
审批代码 批准文号
审批时间 审批结果
建设内容
中山大学集成电路学院真空系统采购项目
基本信息
项目编号 中大招(货)[2022]1530号
项目名称 中山大学集成电路学院真空系统采购项目
项目类型 货物采购 申购主题 真空系统 采购单位 中山大学
项目预算 ***
采购开始时间 2022-12-02 21:10 
采购结束时间 2022-12-08 09:00 
是否送货
期望收货时间 合同签订后300天交货 经办人 登录即可免费查看 经办人电话 020-81338035
送货地址 广东省深圳市光明新区公常路66号中山大学深圳校区理学园
电子签章 本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载
备注 1、本项目国内货物部分:含税人民币报价的付款方式按“ 中山大学国内采购合同(通用货物类)-适用于设备改造专项”的“4.付款及结算方式 4.1.3 分期结算(适用于货物总金额在学校分散采购限额标准以上)”;境外供货部分:付款方式按《中山大学进口货物采购合同》的“1.3付款方式 (2)通过中山大学网上竞价系统以外方式采购的进口货物”,加征关税及进口代理费用由乙方支付。报免税人民币价的公司必须有境外人民币收款账户。
2、进口货物中如有国内供货部分,供应商在报价时应分别报价,境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条,并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。
3、本项目学校不收取任何费用。
4、本项目采用数字证书,请供应商根据指引 http://bidding.sysu.edu.cn/article/4902)提前办理CA证书。
5、“★”标注的技术参数为废标条款,如响应为负偏离将作为非实质性响应处理。

设备列表
采购设备 数量 参考品牌 详细响应要求
真空系统 1台 详情请进入系统查看
"真空系统"技术要求
序号 技术要求内容 评分等级 是否需要附件说明
1 囚禁离子超高真空系统,真空度≤5E-11torr ,配置≥10L/s 离子泵和控制器 ,配置≥200L/s的吸气剂复合泵和控制器 重要
2 真空腔至少含圆周均匀排布CF接口CF1.33" 法兰8个 ,融石英视窗6支 ;上下排布CF4.5" 法兰2个 ,融石英视窗2支 重要
3 CF4.5" 视窗通光孔径≥35.8mm , NA0.8 ;3.2mm厚7980 A0级融石英 , 凹陷深度8mm±0.03mm , 凹陷内径66mm±0.03mm 重要
4 抗反射膜355nm, 369nm, 493nm, 532nm, 透过率>99%,面形λ/4,光洁度20-10,平行度<10arcsec 重要
5 不少于19pin真空电极接口和2kV-16A 4pin真空串通高压电极 ,CF2.75" 全金属真空挡板阀及相关真空连接件 重要
6 低通电极噪声滤波,截止频率<2MHz 重要
7 ★刀片电极及X型支撑架,2片射频刀片形金电极、2片直流驱动刀片形金电极(10路独立信号驱动) ;单电极宽度不大于270um,间隙不大于80um 非常重要
8 刀片电极X形装配 ,开角120°±0.5° ,对角电极间距500um ,偏差不大于30um 重要
9 ★配置真空原子喷射炉 ,含≥2支对准中心的填充用户指定元素的原子束发生器 非常重要
10 配置清单:
真空系统主机1套 ;离子泵控制器1套 ;吸气剂泵控制器1套 ;电极1套
重要


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